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ナノフィルムメーカー商品説明

膜の厚みをナノ単位で制御可能

交互積層法とは、親水処理(あるいは疎水処理)した基盤上に正負の電解質ポリマーを交互に吸着させ、自己組織化させることにより有機超薄膜を製膜する方法で、常温、常圧で製膜が可能であり、薄膜の機械的強度に優れています。

本装置は、さらに、この方法に水晶振動子による膜厚計測技術を融合し、製膜中の質量増加を常時モニターしてロボットアームの挙動をフィードバックすることでナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。

また、大型大量生産用のプロトタイプ(ロール式)も製造しております。(受注生産)

交互吸着膜製膜装置 要御相談(税・送料別)
PCシステム 要御相談(税・送料別)

特徴

・交互吸着法と水晶振動子による膜厚計測技術(フィードバック制御)とを融合し、ナノメートルオーダーでの膜厚制御を可能にしました。

・自由にヘテロ構造を設計。新たな電子デバイス、磁気デバイスの開発に威力を発揮します。

・モノマ(Ru錯体など)の累積も可能。有機EL素子の作製も行われています。

・無機材料での膜厚の作製も可能。有機材料との組み合わせで、オプティカルデバイスの開発が行われています。

・有機溶媒での薄膜作製にも対応しています。

この技術を応用した製品

ケミカルフィルタ
ガラス繊維上に交互吸着膜を60〜100積層し、タバコの煙や、アルデヒド、アンモニアなどの有毒ガスを吸着します。ガスの種類により膜厚を変えることで基材の最適化により数百ppmオーダーのアルデヒドおよびアンモニアガスをほとんど遮断できます。

ケミカルセンサー
白鳥研究室で開発したアンモニアセンサー。生活空間などにおける空気中の主なにおい成分の1つであるアンモニアガスを、ppm(100万分の1)レベルの濃度範囲で、高感度かつ高選択性でリアルタイムに測定できる。リン酸ジルコニウムのナノポア薄膜を塗布することによって、塗布しない場合よりも比表面積(単位質量当たりの表面積)が20倍近く高まり、センサーとしての応答性も数倍から十数倍程度に高まる。また、アンモニアと同様に生活空間における主なにおい成分である塩化水素やメチルメルカプタンなどのガスにはほとんど反応せず、アンモニアガスを選択的に測定できます。

有機EL素子、オプティカルデバイス
交互吸着法を電解質ポリマーにかかわらず、Ru錯体のようなモノマーにも累積が可能。水溶液にかかわらず有機溶媒でも良好な薄膜を作製できます。従来はドライプロセスによって行われていたが、常温・常圧で製膜可能なウェットプロセスであるため、大面積化、プロセスの低コスト化が期待できます。

パンフレット

製品の詳細仕様はパンフレットに記載しております。
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